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當前位置:首頁  >  產品中心  >  其他前道工藝設備  >  8 氧化設備、退火設備  >  THEORIS X302系列12英寸立式中高溫氧化爐

12英寸立式中高溫氧化爐

簡要描述:12英寸立式中高溫氧化爐THEORIS X302H主要用于12英寸1000℃-1200℃高溫和超高溫氧化和退火工藝。該機臺為立式單腔爐管系統,工藝處理過程實現了高度自動化。系統主要由傳輸模塊、工藝模塊、電源柜等部分組成。THEORIS X302P主要用于12英寸600℃-1000℃氧化及退火工藝。該機臺為立式單腔爐管系統,工藝處理過程實現了高度自動化系統主要由傳輸模塊、工藝模塊、電源柜等部分組成。

  • 產品型號:THEORIS X302系列
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-06
  • 訪  問  量: 1851

詳細介紹

1. 產品概述:

THEORIS X302主要用于12英寸600℃-1200℃氧化及退火工藝。該機臺為立式單腔爐管系統,工藝處理過程實現了高度自動化。系統主要由傳輸模塊、工藝模塊、電源柜等部分組成。

2. 設備應用

  晶圓尺寸

  12英寸

 

  適用材料

  硅

 

  適用工藝

  高溫干/濕氧氧化、DCE氧化、摻氮氧化、高溫退火

 

  適用領域

  先進集成電路、功率半導體、襯底材料

 

3. 特色參數

濕氧氧化工藝是在氧氣中加入水汽來進行氧化反應。北方華創 THEORIS X302 氧化爐設備在濕氧氧化工藝中表現出色。它能夠精確控制水汽的含量和輸入方式,以實現對氧化膜生長速率和質量的精準調控。在溫度控制上,同樣具備高精度的特點,確保在濕氧環境下硅片受熱均勻,從而形成均勻、致密的氧化膜。氣體流量的調節也非常精準,能夠根據工藝需求靈活調整氧氣和水汽的比例,滿足不同產品對濕氧氧化工藝的特殊要求。其優秀的工藝穩定性和重復性,使得濕氧氧化工藝的結果可預測且可靠。

 

  4.設備特點

  先進的顆粒控制技術

  先進的金屬污染控制技術

  高精度溫度場控制技術

  支持快速升/降溫度技術

  高產能


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