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GEN2000® MBE 系統提供吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設備大批量生產以及需要以低擁有成本生產 6 英寸的新興應用的理想選擇。

Veeco 的 GEN200® MBE 系統是當今市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產 MBE 系統。該系統在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統是一種超靈活的工具，其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術的應用。該系統采用生產設計技術，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統，以實現理想的實驗室到晶圓廠遷移。

屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統是在 GENxplor 的基礎上進行的擴展，GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 MBE 系統，與 GENxplor 系統的 3“ 功能相比，在單個 4 英寸襯底上具有高質量的外延生長。GENxcel 系統具有易于使用的手動傳輸系統、12 個源端口集成到單框架設計中的現代電子設備，可實現最大的實驗室占地面積效率。

GEN10™ MBE 系統是成熟平臺中經濟、最靈活的簇狀工具系統，允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統利用率高，允許多個研究人員同時使用該系統，并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術相結合，是 MBE 社區選擇 GEN10™ MBE 系統的關鍵因素，無論應用是什么。

GENxplor® R&D MBE系統獲得了化合物半導體制造的CSindustry獎，采用Veeco成熟的3英寸生長室設計，并具工藝靈活性，非常適合UV LED、高效太陽能電池和高溫超導體等新興技術的材料研究。其高效的單框架設計將所有真空硬件與機載電子設備相結合，使其比其他 MBE 系統小 40%，從而節省寶貴的實驗室空間。