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12英寸立式中高溫氧化爐THEORIS X302H主要用于12英寸1000℃-1200℃高溫和超高溫氧化和退火工藝。該機臺為立式單腔爐管系統，工藝處理過程實現了高度自動化。系統主要由傳輸模塊、工藝模塊、電源柜等部分組成。THEORIS X302P主要用于12英寸600℃-1000℃氧化及退火工藝。該機臺為立式單腔爐管系統，工藝處理過程實現了高度自動化系統主要由傳輸模塊、工藝模塊、電源柜等部分組成。

Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 （LSA） 系統具有與 LSA101 相同的架構，可在掃描激光系統中實現全晶圓環境控制。該微室在于它不需要使用真空負載鎖。該系統能夠運行任何惰性氣體的混合物，包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵極結活化和鎳硅化物形成等應用。

LSA 101 激光尖峰退火設備 系統安裝的 IDM 和晶圓代工廠，是大批量制造 40nm 至 140nm 節點的先進邏輯器件的技術。LSA 101 的掃描技術基于 Veeco 的可定制 Unity 平臺™構建，在均勻性和低應力處理方面具有根本優勢。

由德國UNITEMP研發的用于 200 毫米（8 英寸）晶圓尺寸或 M10 182 x 182 毫米太陽能硅片的快速退火爐RTP-200。

由德國UNITEMP研發符合高真空標準的快速退火爐，升溫速率高達 75 K/sec。，升溫速率高達 150 K/sec。主要特點：良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉時間短、舒適的氣體控制、臺式系統，占地面積小。

由德國UNITEMP研發的真空快速退火爐RTP-150-EP，升溫速率高達 150 K/sec。主要特點：良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉時間短、舒適的氣體控制、臺式系統，占地面積小。